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半导体气体传感器原理及特点

发布时间: 2019/4/12 10:23:36 | 541 次阅读

半导体传感器是指利用半导体材料的各种物理、化学和生物学特性制成的传感器。所采用的半导体材料多数是硅以及Ⅲ-Ⅴ族和Ⅱ-Ⅵ族元素化合物。半导体传感器种类繁多,它利用近百种物理效应和材料的特性,具有类似于人眼、耳、鼻、舌、皮肤等多种感觉功能。

半导体气体传感器原理:

在一定的温度条件下,被测气体到达半导体敏感材料表面时将与其表面吸附的氧发生化学反应,并导致半导体敏感材料电阻发生变化,其电阻变化率与被测气体浓度呈指数关系,通过测量电阻的变化即可测得气体浓度。

单支半导体气体传感器通过选择性催化、物理或化学分离等方式在已知环境中可以实现对气体的有限识别。大规模半导体气体传感器阵列可以实现对未知环境中气体种类的识别。

半导体传感器特点:

半导体传感器优点:性价比高、设计及制造过程简单。

半导体传感器弱点:功耗大、漂移、线性差。

无论其优点还是弱点均与上述对应关系相关。如漂移:传感器会吸附氧气,当氧气浓度变化时(如雨天,氧浓度变小),吸附量会变化,零点必会漂啊漂。